1um porézna titánová filtračná vložka pre polovodičové mokré spracovanie

1um pórovitá titánová filtračná vložka pre polovodičové mokré spracovanie poskytuje absolútne-zadržiavanie častíc v agresívnych chemických prostrediach, kde polymérové ​​membrány napučiavajú alebo degradujú. Tento sintrovaný filter s kovovým práškom, vyrobený z 99,4 % priemyselného vysoko- čistého titánového prášku za studena izostatickým lisovaním a vysokoteplotným vákuovým spekaním, dosahuje jednotnú mikroporéznu štruktúru s pórovitosťou v rozsahu 30-40 % a úzkou distribúciou veľkosti pórov. Pri dekarbonizačnej filtrácii vo farmaceutickej výrobe API zachytáva 1μm sintrovaný titánový tyčinkový filter jemné zvyšky aktívneho uhlia a jemné častice katalyzátora z matečných lúhov s vysokou-viskóznou schopnosťou s možnosťou opätovného preplachovania, čím sa životnosť niekoľkonásobne predlžuje nad rámec alternatív membrán. Výroba polovodičov mokrým-procesom zahŕňa 1um titánové práškové sintrované filtre v chemických rozvodoch pre prúdy SC-}1, SC-2, 49 % HF a HNO₃, kde titánový substrát odoláva jamkovej korózii v prostrediach bohatých na chloridy, ktoré korodujú nehrdzavejúce ocele. Hodnotenie presnosti 1 um odstraňuje submikrónové častice obsahujúce kremík a kovové nečistoty bez uvoľňovania častíc, pričom zachováva čistotu filtrátu potrebnú na spracovanie doštičiek v nanometrovom meradle.

Aplikácie slučky na úpravu vody s vysokou{0}}čistotou využívajú 1um poréznu titánovú filtračnú vložku pre polovodičové mokré spracovanie ako konečnú bezpečnostnú filtráciu pred ultrafiltráciou a systémami EDI, kde spekaný prvok z titánového prášku odoláva periodickej sterilizácii ozónom a parným-cyklom-na mieste až do 280 stupňov v mokrých podmienkach. Na rozdiel od polypropylénových hĺbkových filtrov alebo PTFE membránových vložiek, ktoré pri tepelných cykloch zmäkčujú alebo delaminujú, si vákuovo sintrovaná titánová matrica zachováva rozmerovú integritu v rozsahu pH 1-}14 a odoláva rozdielnym tlakom až do 5,0 barov bez kolapsu štruktúry pórov. Slučky CMP na leštenie kalov v pokročilých továrňach používajú 1μm titánové filtračné patróny po adsorpcii živice{13} na zachytenie aglomerovaných abrazívnych častíc nadmernej veľkosti pri zachovaní konštruovanej distribúcie veľkosti častíc koloidného oxidu kremičitého alebo kalov céru. Charakteristika neuvoľňovania častíc a online regenerovateľnosť prostredníctvom spätného preplachovania alebo ultrazvukového čistenia umožňujú opakované opätovné použitie, čím sa znižuje frekvencia výmeny filtra a prevádzkové náklady v nepretržitých prevádzkach na mokrej stolici polovodičov.

Hodnotenie presnosti filtrácie – 1um pórovitá titánová filtračná vložka zaisťuje absolútne-zadržiavanie častíc v polovodičových linkách na mokré spracovanie, pričom odstraňuje submikrónové zvyšky kremíka, kovové kontaminanty a gélové-častice z agresívnych chemikálií vrátane HF, HNO₃, SC-1 a SC-2 bez prieniku médiami.

Odolnosť proti korózii v extrémnych rozsahoch pH – Táto sintrovaná titánová filtračná vložka je vyrobená z titánového prášku s vysokou alebo rovnou 99,4 %{1}}čistoty prostredníctvom vákuového spekania a odoláva prostrediam s pH 1 – 14, odoláva jamkovej korózii a napadnutiu chloridmi, ktoré rýchlo degradujú filtre z nehrdzavejúcej ocele alebo Hastelloy v systémoch distribúcie chemikálií na mokrej stolici.

Vysoká tepelná stabilita pre horúce DIW a SIP cykly – Titánový práškový spekaný filter vydrží nepretržitú prevádzku pri 280 stupňoch v mokrých podmienkach, podporuje sterilizáciu parou-na mieste (SIP) a oplachovanie horúcou deionizovanou vodou bez zmäkčovania, delaminácie alebo vylúhovania extrahovateľných látok, ktoré sú bežné pre polypropylénové alebo PTFE membránové kazety.

No particle shedding – Unlike depth filters or wound cartridges, the rigid sintered metal structure eliminates fiber release or media migration, maintaining ultrapure filtrate essential for nanometer-scale wafer fabrication where any foreign particle >0,5 μm spôsobuje fatálne chyby zariadenia.

Vynikajúca regenerovateľnosť spätného preplachovania – 1um pórovitá titánová filtračná vložka podporuje online spätné preplachovanie, ultrazvukové čistenie a regeneráciu kyselín, odstraňuje zachytené pevné látky a obnovuje počiatočné prietoky počas desiatok cyklov opätovného použitia, čím výrazne znižuje frekvenciu výmeny kaziet a prevádzkové náklady vo veľkoobjemových-fabrikách.

Vysoká tolerancia diferenčného tlaku – Vákuovo{0}}sintrovaná titánová matrica zachováva integritu štruktúry pórov pri rozdielových tlakoch až do 5,0 barov, čím prekonáva membránové filtre, ktoré sa zrútia alebo prasknú počas nárazových prúdov alebo upchávania v zariadeniach na spracovanie polovodičov za mokra.

Rozvodné vedenia chemikálií vysokej{0}}čistoty v továrňach na doštičky – 1um spekaná titánová filtračná vložka pred filtrom s hrúbkou titánu odstraňuje a odstraňuje submikrónový mokrý{5} silikónový prach a prachové častice (POU) pre stolové prúdy 49 % HF, HNO₃, NH₄OH, H₂SO₄ a HCl spracovateľov.

Recirkulačné slučky ozonizovanej deionizovanej vody (DIO₃) – Používajú sa ako bezpečnostná filtrácia v nástrojoch na čistenie po{0}}CMP a odstraňovanie fotorezistu. 1um pórovitá titánová patróna odoláva koncentráciám ozónu až do 20 ppm a nepretržitému UV žiareniu, kde polypropylénové filtre krehnú a PTFE membrány strácajú mechanickú integritu.

CMP slurry polishing loops – final polish and bulk removal – Positioned after slurry blending tanks and before dispense arms for colloidal silica, ceria, or alumina slurries. The sintered titanium filter traps over-sized agglomerates (>1 um) pri zachovaní natívnej distribúcie veľkosti častíc a potenciálu zeta, pri zachovaní konzistentnej rýchlosti odstraňovania a v rámci -nejednotnosti plátku- (WIWNU).

Post-CMP kefový box čistička filtrácie vody – Inštalovaná v deionizovanom vodnom potrubí napájajúcom PVA kefy na opätovné zachytenie zvyškov abrazívnych častíc a iónov medi po leštení plátku. Absolútne hodnotenie 1 um zabraňuje mikroškrabancom na medených a povrchoch s nízkou -k dielektrikou počas kontaktu s kefou.

Konečný bezpečnostný filter s leštiacou slučkou ultračistej vody (UPW) – Umiestnený pred ventilmi miesta-{1}}použitia (POU) v staniciach mokrého leptania a oplachovania. Titánová prášková filtračná vložka funguje v horúcom UPW (80 stupňov) a periodických parných sterilizačných cykloch bez uvoľňovania častíc, pričom zachováva kontrolu baktérií a počet častíc pod úrovňou požiadaviek triedy 1.

Bezprúdové pokovovacie kúpele na pokovovanie niklom a kobaltom pre bariérové/zárodkové vrstvy – Integrované do čistiacich lyžín pokovovacieho kúpeľa na odstránenie kontaminácie časticami zo stabilizátorov a komplexotvorných činidiel. Titánová matrica odolná voči korózii- funguje pri zvýšených teplotách (70 – 90 stupňov) a alkalickom pH bez vodíkového skrehnutia alebo kontaminácie kúpeľa.

Tel: 0917-3873009

Telefón: +86 18992731201

Email:zhangjixia@bjygti.com

Fax: 0917-3873009

Adresa: No. 195, Gaoxin Avenue, High-Tech Development Zone, Baoji City, Shaanxi, Čína

Whatsapp: +86 18992731201

Populárne Tagy: 1um porézna titánová filtračná vložka pre polovodičové mokré spracovanie, Čína, dodávatelia, výrobcovia, prispôsobené, použitie, cenník, na predaj, skladom, vzorka zadarmo, porézny materiál